证券时报记者朱凯
三年前的7月22日，科技创新板首批25家公司在上交所挂牌，这标志着设立科技创新板、试点注册制的重要改革任务正式落地。
有目共睹的是，截至目前，科技创新板市场已经聚集了一批集成电路、生物医药、高端装备制造等领域的科创企业，“硬技术”品质逐渐显现。改革的“试验田”发挥了良好的作用，在发行、上市、交易、退市、再融资、并购重组等方面进行了一系列制度创新。，形成可复制、可推广的经验，为创业板等股市改革提供有益借鉴。
近日，在接受记者采访时，中威公司董事长尹志耀表示，近年来中国半导体设备产业的整体水平在不断提升。公司主要客户的市场份额稳步上升。在MOCVD设备领域，公司用于外延生产GaN基led的MOCVD设备已在行业领先客户的生产线上投入量产。2017年起成为GaN基led市场份额最大的MOCVD设备供应商，继续保持行业领先地位。
等离子刻蚀设备在世界上的批量应用
证券记者:科创板上市以来，公司是如何使用募集资金的？是否产生了经济效益？公司在相关关键领域取得了哪些成绩？
尹志耀:科技创新板上市后，在资本市场的支持下，拓宽了融资渠道，进一步增强了创新能力。提升市场品牌的影响力，获得更多的合作机会，实现加速发展，继续加强和提升公司的综合优势。其中，中威公司于2021年6月完成上市后定向增发，成功募集资金约82亿元，为公司RD、运营、产能建设等项目提供了资金保障。
依托国际先进的RD理念，面向世界先进技术前沿，众美公司专注于自主RD和高端微加工设备的创新。2021年，公司营业收入和利润创历史新高，分别达到31.08亿元和10.11亿元，是2019年科技创新板上市公司销售额和利润的1.5倍和5.3倍。
截至2021年底，该公司拥有超过2300个反应站，服务于亚洲和欧洲50多家芯片制造公司的70多条生产线。2010年至2021年，公司累计在线安装反应堆总数保持年均35%以上的增速。公司刻蚀设备主要客户已覆盖全球主流晶圆厂商，公司MOCVD设备客户已覆盖亚洲主要LED外延片厂商。公司的等离子刻蚀设备已经在国际一线客户批量应用，从65纳米到14纳米、7纳米、5纳米以及更先进的集成电路制造和先进封装。
我们的MOCVD设备已经在行业领先客户的生产线上投入量产，我们的公司已经成为全球和中国领先的氮化镓基LED设备制造商。公司还在研发集成电路背面的先进封装设备，以及MEMS、Mini LED等领域的国际先进设备产品。
证券时报记者:公司所处的行业有什么特点，行业与海外相比处于什么阶段？中国推出科技创新板以来，这种情况有了多大的改变，如何看待未来的行业前景？
尹志耀:半导体设备行业是一个高度全球化的行业。近年来，中国半导体设备产业的整体水平在不断提高。例如，中威公司的刻蚀设备已经应用于国际上先进的7 nm和5 nm集成电路制造生产线。
公司主要客户的市场份额稳步上升。在MOCVD设备领域，公司用于外延生产GaN基led的MOCVD设备已在行业领先客户的生产线上投入量产。2017年起成为GaN基led市场份额最大的MOCVD设备供应商，继续保持行业领先地位。
目前，我国集成电路产业在关键核心技术、产业基础、产业投资、产业整合升级等领域面临着机遇和挑战。科技创新板的推出为推动我国科技产业发展发挥了重要作用，取得了丰硕成果，赢得了社会各界的广泛赞誉。
证券时报记者:科技创新板上市后，在公司治理、RD投资与成果、人才引进与培训等方面发生了哪些变化？如何看待RD投资与创收的关系？
尹志耀:中威坚持以“四十年”为中心，持续发展科技型企业管理规则，按照集成电路装备和泛半导体装备立体化发展战略，自主开发与投资、并购相结合，保持高速、稳定、安全增长，立志成为世界一流的装备领先企业。
持续高水平的RD投资和超前的产业发展是公司保持核心竞争力的关键。公司面向世界先进技术前沿，依托国际先进的RD理念，专注于自主RD和高端微加工设备的创新。公司拥有一支国际化的技能创新型人才RD团队，形成了良好的企业创新文化，为公司持续创新研发提供了保障，公司积累了深厚的技术储备和丰富的RD经验，为公司产品和服务的持续改进提供了有力支撑。
公司拥有多项自主知识产权和核心技术。截至2021年12月31日，公司已申请专利2012项，其中发明专利1741项；授权专利1179项，其中发明专利993项。2016年以来，中威公司销售额平均增长率达到38%以上。
2021年，公司在市场拓展、新产品研发、财务表现等方面取得良好进展。重点客户市场产品接受度和销量稳步提升，高端技术研发进展顺利。新合同金额同比增长90.5%至41.3亿元，产品交付腔数从2020年的295腔增长66.4%至491腔，营业收入同比增长36.7%至31.08亿元。2022年，公司综合优势继续得到强化和提升，各项经营指标增长位居行业领先企业行列。
为全社会节能降耗做出贡献。
证券记者:请介绍一下疫情对公司各方面业务的影响以及应对措施。
尹志耀:面对突如其来的新型冠状病毒疫情，中微公司研判风险，提前布局，精心组织，精准施策，科学管控，以人为本，坚持防疫与稳定运行并举，坚决打赢了疫情防控和生产经营的双战役。
疫情发生之初，中威公司成立了以董事长尹志耀为首的疫情防控领导小组，并成立了疫情防控工作组。根据不同阶段的疫情情况，采取科学有效的防疫措施，不仅保证了员工的身体健康，也极大地保障了公司的持续生产经营。
自2022年3月上海爆发此轮新冠肺炎疫情以来，中微公司领导层反应迅速，根据疫情变化及时调整公司运营模式。3月14日，有人开始在家里工作“降低风险”，有人开始在工厂工作“保证生产”。3月28日，上海实施封控管理，公司立即召集138人进厂，开始实施闭环运行管理模式，确保生产经营不间断。
4月中旬，中煤公司被列入首批获批白名单企业，公司积极组织安排人员申请复产。在闭环生产过程中，采取了网格化管理和科学防控措施。上海这一轮疫情，达到了不停产、零感染的遏制和控制成果。
证券时报记者:在“双碳”战略目标下，公司采取了哪些具体措施，取得了哪些效果？请介绍公司的社会责任报告或ESG报告。
尹志耀:中微公司注重绿色发展，通过不断探索和实践，积极响应应对气候变化、二氧化碳排放峰值和碳中和的国家战略。
公司不断改进和完善企业的相关制度和措施，加强EHS管理，践行绿色生产制造，做好日常生产生活的环境管理，认真履行环保责任，实行严格的智能化生产管理。同时，通过完善组织机制，运用先进的管理体系，开展了一批能效提升项目，致力于绿色生产制造。
公司不仅关注企业自身发展和经济价值创造，还倡导产业链上下游环保和能源合理利用，助力国家“双碳”目标实现。公司秉承创新引领的理念，通过技术创新积极驱动产业和社会发展。比如公司在选材上尽量使用损耗低、工艺稳定性好的材料，也在探索开发一些蚀刻设备的新型镀膜材料和技术。
此外，中美公司的MOCVD设备是用于制备化合物半导体外延片的关键设备，广泛用于制造通用照明和背光显示用蓝色LED等高效节能终端设备。通过这些产品的广泛使用，为全社会的节能降耗做出贡献。
2022年4月，中微公司发布了首份《环境、社会与治理ESG报告》，从产品质量、绿色发展、产业健康、以人为本、规范管理、稳健经营等七个方面阐述了中微公司在助力环境保护、履行社会责任、完善治理机制方面的一系列举措和成果。
