#电子气体#
在芯片制造过程中，不仅是光刻机、蚀刻机、光刻胶、硅片等核心设备或材料。不仅如此，还需要一种叫做电子气的特殊工业气体。特种电子气作为产业链上游原料之一，参与刻蚀、清洗、外延生长、离子注入等过程。它们是整个芯片制造业不可或缺的，因此被称为半导体的“血液”。
由于电子气影响集成电路的性能、集成度、成品率等关键指标，所以对电子气的纯度要求很高。由于主要技术难点，电子气成为第二大材料，成本份额仅次于硅片。
随着芯片制造技术的小型化，半导体生产中对电子气体的纯度要求越来越高。这进一步增加了中国企业在高端电子气体领域打破国外垄断的难度。
什么是电子气？
气体广泛用于电子产品的加工，如离子注入、蚀刻、气相沉积和掺杂。它被称为集成电路、液晶面板、led和光伏材料的“食物”和“来源”。电子器件的性能与电子气的质量密切相关，因此电子器件也被称为半导体制造业的“血液”。
在半导体行业的原材料份额中，电子气是仅次于大硅片的半导体材料第二大市场需求。随着半导体产业的发展，电子气市场也在不断增长。2017年，特种电子气全球市场规模为38.92亿美元，2018年，特种电子气市场规模为45.1亿美元，比上年增长15.9%。
特殊电子气体包括许多由集成电路、面板、光伏和光纤制成的互连。它们是制造过程中的关键材料，其质量直接影响电子器件的产量和性能。目前半导体行业各种化合物中使用的特殊气体有110多种，通常有20-30种。
电子在许多集成电路中起着重要的作用，特别是在半导体薄膜的沉积中。它是形成薄膜的最重要的原材料之一。
特种电子气主要用于LCD行业的成膜和干法刻蚀工艺。液晶显示器种类繁多，其中TFT-LCD因其响应时间快、图像质量高、成本逐渐降低而成为应用最广泛的液晶显示技术。TFT-LCD面板的制造过程可以分为前阵列、中间单元和后模块安装三个阶段。电子气主要用于前阵列工艺的成膜和干法刻蚀阶段。经过多次成膜过程，在衬底上沉积了SiNx非金属薄膜和栅、源、漏、ITO等金属薄膜。
电子气主要用于LED照明中LED外延片和芯片的制造工艺。LED的主要生产工艺包括外延片生长、芯片加工和封装应用。特种电子气主要用于外延片生长和芯片加工。.
电子气在太阳能晶体硅电池和薄膜太阳能电池这两种主流太阳能电池的生产中起着重要的作用。太阳能电池是一种利用太阳光直接发电的光电半导体芯片。由于太阳能是一种可再生的清洁能源，太阳能电池具有广阔的发展前景。太阳能电池芯片是太阳能电池的核心部件。电子在太阳能电池的许多生产化合物中起着重要作用，包括扩散、蚀刻、沉积等过程。
