电压暂降对半导体行业会产生什么样影响?

核心提示现代供电网络日趋庞大,彼此间的电磁耦合紧密,系统故障点引起的电压扰动往往会波及更大范围的用电负载。电力系统经常因为短路等不可预防的故障引发电压暂降问题。而在半导体行业中,芯片制造工艺复杂,芯片中电路的制作需层层叠代、环环相扣,芯片从最初的硅

现代供电网络日趋庞大,彼此间的电磁耦合紧密,系统故障点引起的电压扰动往往会波及更大范围的用电负载。电力系统经常因为短路等不可预防的故障引发电压暂降问题。而在半导体行业中,芯片制造工艺复杂,芯片中电路的制作需层层叠代、环环相扣,芯片从最初的硅圆片上线加工到最后芯片封装销售,整个过程将近上百道工序,任何一道工序的加工失误均会导致整个晶圆片的报废。

在半导体行业中的敏感负载有:厂务排风系统(洁净室)、PCW工艺水、UPW超纯水系统;光刻机;离子注入机;刻蚀机;机台控制系统等。这些系统或负载遇到电压暂降之后,会受到不同程度的影响;严重时会导致整条生产线所生产的芯片报废,给企业带来巨大的经济损失。

电压暂降的危害不仅仅是生产流程中断造成的直接经济损失,还会出现成品率降低、延迟交货、和设备寿命的降低;晃电事故严重的话,时还会影响企业在客户心中的信誉度,从而导致的客户流失等。

首先,在改变电压或电流时,对参数的变化,步进电机与交流电动机是一样的,所以就说3种情况:

1,交流异步电动机。在电压不变的情况下,电流从额定电流开始降低,那么电动机的转矩会降低,转速变化不大(可能降低,也可能提高,视具体电机参数而定)。电动机的效率及功率因数从大趋势上看是降低,功率是降低。

如果电流不变,而电压从额定电压开始降低。首先这种情况是不可连续的,因为从大趋势上讲,电压降低,一般是伴随着电流降低的(下同)。但是,我们可以仅仅对开始试验的一段时间内进行分析的。此时,电动机的转矩会维持不变,转速略有降低(从趋势上看,下同),功率因数略有降低,效率略有降低。

2,同步电动机。在电压不变的情况下,电流从额定电流开始降低,那么电动机的转矩会降低,转速不变。电动机的效率及功率因数从大趋势上看是降低,功率是降低。

如果电流不变,而电压从额定电压开始降低。此时,电动机的转矩会维持不变,转速不变。功率因数略有降低(从趋势上看,下同,效率略有降低。

3,对直流电动机(只讲串励磁直流电动机)。在电压不变的情况下,电流从额定电流开始降低,那么电动机的转矩降低,转速提高。电动机的功率是降低。

如果电流不变,而电压从额定电压开始降低。此时,电动机的转矩会维持不变,转速不变。效率不一定。

 
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