此法以热压焊法和超声波压焊法为基础,所用设备分别为热压焊机、超声波压焊机和球焊机。这是广泛采用的内引线焊接方法之一,其特点是:①工作温度(200~250℃)低于热压焊法的工作温度;②所用的压焊劈刀不用加热而由超声振动产生热能;③采用金丝为引线,并以球焊形式进行焊接。三种内引线焊接法的焊接质量,都需要用一个精密的引线抗拉强度测定器(拉力计)进行检查和控制。
随着集成电路芯片内引线数量的不断增加,这种一步一次一个焊接点的焊接技术无论在质量上和效率上都不能满足大规模集成电路的需要。1960年,在梁式引线和面键合焊接技术基础上又研究成功梁式引线载带自动焊接芯片的新工艺,使用镂空的引线框架(称为载带)将所有的引线与芯片上的金属焊点一次性同时焊接上。这种组焊方法的可靠性和效率都很高。


60年代初,超声波焊接技术开始应用于集成电路的内引线焊接。超声波压焊的原理是由超声波发生器产生几十千赫的超声振荡电能,通过磁致伸缩换能器产生超声频率的机械振动。压焊劈刀镶在端部的适当位置上,劈刀必然同时产生一种称为交变剪切应力的机械振动。同时,在劈刀上端施加一定的垂直压力,在这两种力的共同作用下,通过时间的控制使劈刀下的铝丝发生有规律的蠕动。铝丝和芯片铝焊区表面的氧化膜受到破坏,同时由于摩擦,在界面上产生一定的热量使焊接处的铝丝和芯片上的铝焊区都产生一定的塑性形变,使铝原子金属键紧密接触而形成牢固的键合。超声波压焊是用铝丝(一般含硅1%)作引线,工作温度又低,不但广泛用于各种电路的内引线焊接,而更适于对温度要求严格的 MOS器件、微波器件和高频器件的内引线焊接。超声压焊法的工艺条件要求严格。
为得到高抗拉强度的焊接点须选择最佳的焊接条件,这取决于超声振动功率、压力和超声振动时间等因素,要使三者之间相互匹配,压焊设备应调整出最佳工作点进行焊接。


