三维空间R3存在两组含有n个坐标点的点集，分别为： PL和PR。三维空间点集PL中各点经过三维空间变换后与点集PR中点一一对应，其单点变换关系式为：(0-1)上式中，R为三维旋转矩阵，t为平移向量。在ICP配准方法中，空间变换参数向量X可表示为[9] 。参数向量中四元数参数满足约束条件为：(0-2)根据迭代的初值X0，由式(0-1)计算新点集Pi为：(0-3)式中，P表示原始未修改过的点集，Pi的下标i表示迭代次数，参数向量X的初始值X0为 。根据以上数据处理方法，ICP配准算法可以概括为以下七个步骤：1） 根据点集Plk中的点坐标，在曲面S上搜索相应就近点点集Prk；2） 计算两个点集的重心位置坐标，并进行点集中心化生成新的点集；3） 由新的点集计算正定矩阵N，并计算N的最大特征值及其最大特征向量；4） 由于最大特征向量等价于残差平方和最小时的旋转四元数，将四元数转换为旋转矩阵R；5） 在旋转矩阵R被确定后，由平移向量t仅仅是两个点集的重心差异，可以通过两个坐标系中的重心点和旋转矩阵确定；6） 根据式(0-3)，由点集Plk计算旋转后的点集P’lk。通过Plk与P’lk计算距离平方和值为fk+1。以连续两次距离平方和之差绝对值 作为迭代判断数值；7） 当 时，ICP配准算法就停止迭代，否则重复1至6步，直到满足条件 后停止迭代
icp激发光源分几个部分,各部分的作用是什么介绍如下：
1、进样系统：进样系统是icp仪器中极为重要的部分，也是icp光谱分析研究中最活跃的领域，按试样状态不同可以分别用液体、气体或固体直接进样。
2、电感耦合等离子体光源（icp）。是用于原子发射光谱的主要光源。ICP具有环形结构、温度高、电子密度高、惰性气氛等特点，用它做激发光源具有检出限低、线性范围广、电离和化学干扰少、准确度和精密度高等分析性能。
3、光谱仪的分光（色散）系统：复合光经色散元素分光后，得到一条按波长顺序排列的光谱，能将复合光束分解为单色光，并进行观测记录的设备称为光谱仪。
4、检测器--光电转换器件：光电转换器件是光电光谱仪接收系统的核心部分，主要是利用光电效应将不同波长的辐射能转化成光电流的信号。
拓展介绍：
ICP还可以作为原子化器，如以空心阴极灯为光源，ICP为原子化器的原子荧光光谱仪.这类仪器不采用单色器，以ICP为中心，在周围安装多个检测单元(每一元素配一个检测单元),形成了多元素分析系统.ICP作为原子化器最大的优点在于原子化器具有很高的温度，多种元素都可得到很好地原子化，散射问题也得到克服。
由计算机控制，灯电源顺序地向各检测单元的空心阴极灯供电(2,000次/秒),所产生的荧光由相应的光电倍增管检测，光电转换后的电信号在放大后由计算机处理，并报出各元素的分析结果.不过，值得提出的是，以ICP为原子化器的原子荧光光谱仪对难溶元素的测定灵敏度不高。
