射频匹配主要目的是要减小输入信号的反射损耗,这里的反射你可以这么理解,射频信号频率很高，它与一般的无线电波相比，具有更多的类似“可见光”的性质，也就是它在两种介质的交界面上（也就是你的输入信号线与你的设备输入端子就是一种交界面）会产生反射，这种反射有点类似于光从空气中射入水中的情况，如果入射角不对（也就是阻抗不匹配），大量的光会因为反射而损耗掉，只有少量的光入射到水中。这个匹配器的作用也就是最大限度地减小损耗，保证更多的信号进入设备输入端，提高设备的工作性能。
上面的仁兄已经解释了概念，那我就说说应用吧。
中频电源是用于
中频双靶溅射
就是将电源的两极接在两个靶材上，是为了避免靶材中毒，普通的直流溅射中靶材粘附等离子体而是靶成正极，中频双靶溅射就是将等离子体中而使之成中性。还可以提高溅射率。
射频电源是用于
射频溅射
射频电源在真空室中产生电子，电子撞击氩气形成等离子体轰击靶材。射频溅射的最大优点是可以制备从导体到绝缘体材料的薄膜。
脉冲电源我就不太清楚了。很少有看到脉冲电源用于真空溅射镀膜上的。
