1PECVD工艺的基本原理
PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上（即样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。其工艺原理示意图如图1所示。
在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出。
22PECVD设备的基本结构
PECVD设备主要由真空和压力控制系统、淀积系统、气体及流量控制、系统安全保护系统、计算机控制等部分组成。其设备结构框图如图2所示。
221真空和压力控制系统
真空和压力控制系统包括机械泵、分子泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、真空计等。为了减少氮气、氧气以及水蒸气对淀积工艺的影响，真空系统一般采用干泵和分子泵进行抽气，干泵用于抽低真空，与常用的机械油泵相比，可以避免油泵中的油气进入真空室污染基片。在干泵抽到一定压力以下后，打开闸板阀，用分子泵抽高真空。分子泵的特点是抽本体真空能力强，尤其是除水蒸汽的能力非常强。
222淀积系统
淀积系统由射频电源、水冷系统、基片加热装置等组成。它是PECVD的核心部分。射频电源的作用是使反应气体离子化。水冷系统主要为PECVD系统的机械泵、罗茨泵、干泵、分子泵等提供冷却，当水温超过泵体要求的温度时，它会发出报警信号。冷却水的管路采用塑料管等绝缘材料，不可用金属管。基片加热装置的作用使样品升温到工艺要求温度，除掉样品上的水蒸气等杂质，以提高薄膜与样品的附着力。
223气体及流量控制系统
PECVD系统的气源几乎都是由气体钢瓶供气，这些钢瓶被放置在有许多安全保护装置的气柜中，通过气柜上的控制面板、管道输送到PECVD的工艺腔体中。
在淀积时，反应气体的多少会影响淀积的速率及其均匀性等，因此需要严格控制气体流量，通常采用质量流量计来实现精确控制。
射频电源用英语怎么说
射频；
英文；Radio Frequency，
英文缩写；RF。
表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300KHz～30GHz之间。射频简称RF射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。
射频电源会不会互扰
翻译如下
射频电源
r-f power source全名为 radio-frequency power source
例句
实验采用射频电源。
A radio frequency power source was adopted in experiments
脉冲电源，中频电源，射频电源
射频信号是会互相干扰的，但是这种干扰是有条件的，即彼此产生的电磁场接触并足以互相影响，如果该条件不满足，则不会造成互扰。
比如两路射频信号在同轴线内传输，由于是屏蔽环境，电磁场并不外泄，则不会造成干扰。再比如在微带线中传输的两路信号，如果相隔足够远（一般认为达到微带厚度的2倍），则虽然彼此的电磁场接触，但是由于接触部分的强度很低，也不会造成互扰。
综上，射频电源是否会相互干扰，完全看电源产生的射频信号的传输形式和两电源间的距离。
射频电源输出的是电磁波还是电流呀
1、脉冲电源：脉就代表间断、瞬间的意思，冲：就是代表高压，合起来就是瞬间高压，但是无电流或电流极小。
2、中频电源：400Hz中频电源是专门为航空及军用电子电气设备设计制造的电源，可用于飞机及机载设备、雷达、导航等军用电子设备,以及其他需要400Hz中频电源的场合。400Hz中频电源以16位微型控制器为核心、以电力电子器件为功率输出单元，采用了数字分频、锁相、波形瞬时值反馈、SPWM脉宽调制、IGBT输出等新技术及模块化结构，具有负载适应性强、效率高、稳定度佳、输出波形品质好、操作简单、体积小、重量轻、智能控制、异常保护功能、输出频率可调、输出反应速度快、过载能力强、全隔离输出，长寿命抗损伤等特点。
射频电源：射频Radio Frequency ，简称RF。射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。
射频电源机箱为什么都是铝的？
不知道你说的是什么
射频电路是将低频的输入信号通过调制之后变成高频信号经过天线发射的过程
至于射频电路的电源肯定是直流稳压源保证各个元件正常工作的。而通过天线发射的高频信号（射频信号）是电磁波。调制到高频就行因为高频信号在无线信道里的衰减要更小。无线信道就是电磁波的啊
目前，随着铝机箱的应用的不断加大，市场上大多数的钢铁机箱已经渐渐地被铝机箱所替代了。其铝机箱的材质其实是一种的合金产品，铝合金是纯铝中加入一些合金元素制作的，具有质轻，结构坚固，结构强度高，散热性能好等特性，是一款十分吻合机箱对材质的需求的箱体。那么铝机箱有什么好处呢
铝机箱的好处，如下：
1、轻巧
铝合金通常给人以薄、硬度低的感觉，这样理解是片面的，而在合金中添加镁之后，镁铝合金的板材硬度会大大增强，与普通的钢材相比并不差，而且材料要比一般的铁钢轻些。
2、硬度强
铝合金比钢材的强度要高，所以铝机箱比钢制机箱重量轻、强度高。而且，铝合金本身的抗氧化能力比钢板以及其他材质来说，都要更好，所以铝机箱一般不用再涂漆，它的制作完全体现了重量轻，硬度强的特点。
3、散热好
铝合金材料在理论上比钢板有更好散热能力，铝的比热容相比于钢板更高，铝金属散热强度非常高，比铁材的散热能力高5倍以上，而铝的散热强是它的最大的也是最重要的特点，所以铝机箱的散热相比其他机箱而言更加出色。
4、防辐射优势：
很多办公室整体对着电脑的人通常会感觉到脸部皮肤有绷紧、易于老化的感觉，其实这就是因为长时间对着电脑而电脑又产生的电磁辐射造成的。在防辐射方面，我们通常所讨论的计算机机箱电磁辐射，主要是射频辐射，其次是中频漏磁。对于射频辐射的吸收，目前可采用的好材料为紫铜材料，其次为铝，但铜导电，所以铝机箱在防辐射方面的优势就显得格外明显了。
以上所介绍的内容，就是使用铝机箱的好处。相比于冷扎钢板、电解镀锌铁钢板等材质而言，铝合金才是目前制造机箱材质的不二之选。
