主要是针对的频率不一样，毫米波和微波的频率要比射频高。广义上说微波可以指300MHz-300GHz的信号，射频指3KHz-300GHz的信号，但是工程上他们通常表示特定频率的应用。射频集成电路（RFIC）一般工作在3GHz以下频率。而微波集成电路通常工作在3GHz以上，毫米波集成电路工作在30GHz以上。当然这种区分也不是绝对的。在介质电路中，电磁波的波长比真空中要小，所以只要实际传输波长达到毫米量级，就可以称作毫米波电路。
由于频率不一样，工作波长差别很大。因此电路的尺寸也不同，RFIC的尺寸就要比微波/毫米波电路大得多。频率越高，集成电路的精密度越高。对加工误差的要求越高。
另外由于电磁波频率越高，发射性越强，所以在高频电路的设计上有更多需要注意的地方。
芯片（chip）就是半导体元件产品的统称，是集成电路（IC, integrated circuit）的载体，由晶圆分割而成。
集成电路是指组成电路的有源器件、无源元件及其互连一起制作在半导体衬底上或绝缘基片上，形成结构上紧密联系的、内部相关的事例电子电路。它可分为半导体集成电路、膜集成电路、混合集成电路三个主要分支。
