扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。 控制部分包括：温控器、功率部件、超温保护部件、系统控制。
系统控制部分有四个独立的计算机控制单元，分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心。
辅助控制系统，包括推舟控制装置、保护电路、电路转接控制、三相电源指示灯、照明、净化及抽风开关等。
较先进的扩散炉控制系统均已更新或升级到微机控制，管机与主机间通过串口RS232或网线进行通信。控制系统软件大多基于Windows系统，实用性和可操作性大大提高，能够实现日志记录，曲线记录，程序编辑，远程控制等多种功能。 水平扩散炉进出舟系统有两种方式：1）悬臂桨系统；2）软着陆系统。
悬臂桨系统结构比较简单，SiC桨携带舟和硅片进入石英炉管后，就停留在石英炉管内，直到工艺程序结束，SiC桨就携带舟和硅片慢慢回到原位，悬臂桨系统缺点是桨对炉管温度的均匀性有一定的影响，另外，工艺气体也会对桨沉积，影响颗粒。
软着陆系统较悬臂桨系统更加先进，SiC桨进入石英工艺炉管后，桨自动下沉放下石英舟和硅片，然后慢慢运行回原点，最后石英炉管的门自动关闭。软着陆系统优点是没有SiC桨对腔体的影响，使得温度均匀性更好，减少了工艺气体在SiC桨上的沉积，从而颗粒更少。
推舟净化柜的顶部装有照明灯；正面是水平层流的高效过滤器及四层推舟的丝杠、导轨副传动系统及SiC悬臂桨座，丝杠的右端安装有驱动步进电机，导轨的两端是限位开关。柜子的下部装有控制电路转接板及净化用风机。 气源柜分为五层。顶部设置有排毒口， 用以排除在换源 过程中泄漏的有害气体。 柜顶设置有三路工艺气体及一路压缩空气的进气接口， 接口以下安装有减压阀、截止阀， 用以对进气压力进行控制及调节。对应于气路，各层分别装有相应的电磁阀、 气动阀、过滤器、单向阀、质量流量控制器、 及DCE源瓶和冷阱等。柜子的底部装有质量流量（MFC）控制器电源、控制开关、保险等电路转接板以及设备总电源进线转接板。
RS-232C接口的用处？
1、9针串行端口用于连接打印机和工业设备进行通信，也称为DB9。DB表示串行端口。它分为雄头和雌头。九针串行口的功能如下：
载波检测
接收数据
传输数据
数据终端就绪
信号接地
数据准备
发送请求
传输清除
环指示连接方法：
2、15针串行端口为VGA，用于传输视频信号
3、另一个HDMI接口用于传输高清视频信号
扩展资料：
RS-232C标准接口有25条线，4条数据线，11条控制线，3条定时线，7条备用和未定义线，常用的只有9条。
接触控制信号线：数据集就绪dsr-打开状态，表示调制解调器处于可用状态。
数据集就绪dtr—打开状态，表示可以使用数据终端。
这两个信号有时会连接到电源，一旦接通电源，它们就会立即生效。这两个设备状态信号有效，仅表示设备本身可用。这并不意味着通信链路可以启动通信。通信能否启动取决于以下控制信号。
请求发送RTS-用于指示DTE请求DCE发送数据，即当终端想要发送数据时，使信号有效，并将请求发送到调制解调器。用于控制该模式是否进入发送状态。
清除发送CTS-用于指示DCE准备好从DTE接收数据。它是对请求发送信号RTs的响应信号。当模块准备接收来自终端的数据并将其转发时，它使信号有效，并通知终端开始沿传输数据线TXD发送数据。
该RTS/CTS请求响应的接触信号用于半双工modem系统中传输模式和接收模式之间的切换。全双工系统中发送模式和接收模式的切换。在全双工系统中，由于双向通道的配置，不需要RTS/CTS接点信号来提高系统的性能。
接收线检测RLSD-用于指示DCE已连接通信链路并通知DTE它已准备好接收数据。当本地调制解调器接收到通信链路另一端调制解调器发送的载波信号时，使RLSD信号有效，通知终端准备接收，并将接收到的载波信号解调成数字二数据，然后沿RXD接收数据线发送到终端。
这条线也称为数据载波检测dcd线。
Ring RI：当调制解调器从交换站接收到振铃呼叫信号时，它使信号生效，通知终端它已被呼叫。
数据收发线：
传输数据TXD——通过TXD终端向调制解调器发送串行数据。
接收数据RXD——通过RXD终端从调制解调器接收串行数据。
地线：
有SG、PG两条线—信号接地和保护接地信号线，无方向。
控制信号线有效和无效的顺序表示接口信号的传输过程。例如，只有当DSR和DTR都处于有效状态时，才能执行DTE和DCE之间的传输操作。
如果DTE要发送数据，请事先将DTR线路设置为有效状态，并在CTS线路收到有效状态的应答后在TXD线路上发送串行数据这种顺序对于半双工通信线路特别有用，因为半双工通信可以确定DCE已经从接收方向变为发送方向，然后线路可以开始发送。
2数据信号：发送TXD；接收RXD。
1信号地线：SG。
6控制信号：
DSR数据发射器准备就绪，数据集准备就绪。
DTR数据终端准备就绪，数据终端准备就绪。
RTS DTE请求DCE发送。
CTS DCE允许DTE发送，这是对RTS信号的应答。
DCD数据载波检测：当本地DCE设备接收到对方DCE设备发送的载波信号时，使DCD生效，通知DTE准备接收，DCE将接收到的载波信号解调成数字信号，通过RXD线发送给DTE。
RI-ring信号当DCE从交换机接收到铃声呼叫信号时，它使信号有效并通知DTE它已被呼叫。
参考资料：
百度百科-9针串口
百度百科-DB9
RS-232C总线是一种串行外部总线，由EIA (Electronic Industry Association)于1962年公布，并于1969年作了最后一次修订。RS是Recommended Standard的缩写，232是标准的标识号。推出这种总线标准的最初目的是实现数据终端设备DTE(Data Terminal Equipment)和数据通信设备DCE(Data Communication Equipment)之间的串行通信。DCE一般指调制解调器(Modem)。当计算机和DCE相连时，其串行接口的地位等同于DTE。RS-232C早期的典型应用如图12．8所示。后来人门将其广泛应用于计算机与终端之间、计算机与计算机之间或计算机与串行打印机及其他串行接口设备之间的近距离串行通信。 1、RS-232C接口引脚定义 由于RS-232C并未定义连接器的物理特性，因此，出现了DB-25、DB-15和DB-9各种类型的连接器，其引脚的定义也各不相同。下面是常用的DB-25和DB-9连接器接口图： 图3 DB25 和DB9引脚图 旧制JIS名称 新制JIS名称 全称 说明 FG SG frame Ground 连到机器的接地线 TXD SD Transmitted Data 数据输出线 RXD RD Received Data 数据输入线 RTS RS Request to Send 要求发送数据 CTS CS Clear to Send 回应对方发送的RTS的发送许可，告诉对方可以发送 DSR DR Data Set Ready 告知本机在待命状态 DTR ER Data Terminal Ready 告知数据终端处于待命状态 CD CD Carrier Detect 载波检出，用以确认是否收到Modem的载波 SG SG Signal Ground 信号线的接地线（严格的说是信号线的零标准线） RS-232C规标准接口有25条线，4条数据线、11条控制线、3条定时线、7条备用和未定义线，常用的只有9根，它们是： （1）、状态线： 数据准备就绪(Data set ready-DSR)——有效时（ON）状态，表明数据通信设备可以使用。(DCE->DTE) 数据终端就绪(Data set ready-DTR)——有效时（ON）状态，表明数据终端设备可以使用。(DTE->DCE) 这两个信号有时连到电源上，上电就立即有效。 这两个设备状态信号有效，只表示设备本身可用，并不说明通信链路可以开始进行通信了，能否开始进行通信要由下面的控制信号决定。 （2）、联络线 请求发送(Request to send-RTS)——DTE准备向DCE发送数据，DTE使该信号有效（ON状态），通知DCE要发送数据给DCE了。(DTE->DCE) 允许发送（Clear to send-CTS）——是对RTS的响应信号。当DCE已准备好接收DTE传来的数据时，使该信号有效，通知DTE开始发送数据。(DCE->DTE) RTS/CTS请求应答联络信号是用于半双工MODEM系统中发送方式和接收方式之间的切换。在全双工系统中，因配置双向通道，故不需要RTS/CTS联络信号，使其变高。 （3）、数据线 发送数据(Transmitted data-TxD)——DTE发送数据到DCE。(DTE->DCE) 接收数据(Received data-RxD)——DCE发送数据到DTE (DCE->DTE) （4）、地线 有两根线SG、PG——信号地和保护地信号线。 （5）、其余 载波检测( Carrier Detection-CD)——用来表示DCE已接通通信链路，告知DTE准备接收数据。(DCE->DTE) 振铃指示(Ringing-RI)——当DCE收到交换台送来的振铃呼叫信号时，使该信号有效（ON状态），通知DTE，已被呼叫。(DCE->DTE) 通常的应用系统中，往往是CPU和I/O设备之间传送信息，两者都是DTE，比如PC和色温计，PC和单片机之间的通信，双方都能发送和接收，它们的连接只需要使用三根线即可，即RXD,TXD和GND，连接方式见图4。 图4 “三线连接法” 2、RS-232C的电气特性 (1)逻辑电平 在TXD和RXD上： 逻辑1(MARK)=-3V～-15V 逻辑0(SPACE)=+3～＋15V 在RTS、CTS、DSR、DTR和DCD等控制线上： 信号有效（接通，ON状态，正电压）＝+3V～+15V 信号无效(断开，OFF状态，负电压)=-3V～-15V 由以上定义可以看出，信号无效的电平低于-3V，也就是当传输电平的绝对值大于3V时，电路可以有效地检查出来，介于-3～+3V之间的电压无意义，低于-15V或高于+15V的电压也认为无意义，因此，实际工作时，应保证电平的绝对值在(3～15)V之间。 当计算机和TTL电平的设备通信时，如计算机和单片机通信时，需要使用RS-232C/TTL 电平转换器件，常用的有MAX232。 (2)传输距离 由RS-232C标准规定在码元畸变小于4%的情况下，传输电缆长度应为15m，其实这个4%的码元畸变是很保守的，在实际应用中，约有99%的用户是按码元畸变10-20%的范围工作的，所以实际使用中最大距离会远超过15m。 3、 RS-232C的不足之处 由于RS－232C接口标准出现较早，难免有不足之处，主要有以下四点： （1）接口的信号电平值较高，易损坏接口电路的芯片，又因为与TTL 电平不兼容故需使用电平转换电路方能与TTL电路连接。 （2）传输速率较低，在异步传输时，波特率最大为19200bps。 （3）接口使用一根信号线和一根信号返回线而构成共地的传输形式， 这种共地传输容易产生共模干扰，所以抗噪声干扰性弱。 （4）传输距离有限，实际最大传输距离只有50米左右.
