MEMS是在Silicon上用半导体工艺制作三维结构，形成传感器；而微电子技术是在Silicon上制作大规模集成电路，是MOS管阵列。是平面二维的。
所以联系就是：都是在硅基底制作的。都用的半导体工艺技术。
明显区别就是：MEMS很多都是3D，而微电子技术是2D。MEMS目前停留在微米量级，而微电子技术已经到了纳米量级。以后纳米量级的MEMS不叫MEMS，叫NEMS。
——————（我知道的，如果能帮到你，这就是我回答的意义。）
在某种程度上，MEMS可以看作CMOS集成MTD2002电路的扩展。如果将开关电源模块CMOS比喻为人的大脑和神经网络，那么MEMS就是大脑MTD2002智慧的“手臂”，为这信息系统提供了开关电源模块获取信号的微传感器和执行命令的微执行器。
