国产半导体设备进展

核心提示作者:文雨,编辑:小市妹沉寂了很久的芯片产业又传出一个令人振奋的消息。在刚刚过去的4月份,中国大陆半导体设备企业中标了67台,国产化率高达62%。【巨头环伺,强者愈强】半导体设备主要是指应用于集成电路制造和封测环节的设备,因此又可细分为晶圆

作者:虞雯,编辑:小石妹

沉寂许久的芯片行业又有了一个振奋人心的消息。

在刚刚过去的4月份,中国大陆半导体设备企业中标67台,国产化率达到62%。

[有巨人在,强者愈强]

半导体设备主要是指集成电路制造和封装测试所使用的设备,因此可以细分为晶圆制造设备和封装测试设备,其中制造设备占价值的86%,是核心部件。

技术壁垒、市场壁垒、客户认知壁垒,三大问题促使半导体设备逐渐走向垄断竞争格局,市场份额在过去几年加速向头部企业集中。

据VLSI Research统计,2021年,行业的CR5约为84%,较2019年的65%大幅提升近20%。

从细分来看,半导体制造设备主要包括薄膜沉积设备、刻蚀设备、光刻机、清洗设备、CMP、离子注入设备、热处理设备、镀膜和显影等。其中,薄膜沉积、蚀刻和光刻的价值占比最高,分别达到27%、22%和20%。

▲图片取自长城郭蕊证券

每一个细分领域都被巨头牢牢掌控。

比如薄膜沉积设备主要有CVD,PVD,ALD,基本都被AMAT和Lam Research和TEL垄断了。在CVD领域,三者合计市场份额约为70%;在PVD市场,申请材料占85%;ALD设备、应用材料和东京电子的市场份额为60%。

蚀刻设备仍归上述三大巨头所有。根据Gartner的数据,2020年,Ram Research、Applied Materials和Tokyo Electronics分别占全球蚀刻设备市场的47%、27%和17%。

不用说,几乎所有的光刻机都来自ASML,尼康和佳能,其中ASML享有高端光刻机市场,在EUV领域没有对手。

CMP设备、应用材料和日本的荏原占据了全球市场的90%以上。

更让人绝望的是,近年来,美国、日本等国不断推动成立排他性的“半导体产业联盟”,试图在产业的先天壁垒上加上人为壁垒。

龙头的圈子文化强化了供应链的马太效应,加上专利封锁,后来者落后,一步一步跟不上。在客户粘性高、认证壁垒高的半导体设备领域,这个问题被无限放大。

然而,即使在如此困难的情况下,中国企业仍然表现出巨大的韧性。

[国内换人,反攻]

今年4月,在新一轮大陆半导体设备招标中,国内企业中标67台,国产化率高达62%。从年度数据来看,去年半导体设备国产化率为27.4%,较2020年的16.8%大幅提升。

这意味着持续多年的国内替代进入集中换购期。

在特朗普上台之前,国内的主流观念是“买不如做”,本土晶圆厂基本倾向于采购海外头部企业的成熟设备,这样可以尽量减少认证周期和成本,然后在一个半导体景气周期内快速完成生产线建设。

而半导体设备无法独立开发,需要晶圆厂的合作开发。由于缺乏验证和进口的机会,大陆半导体设备企业长期停滞不前。

中美贸易摩擦是一个重要转折点。以SMIC为代表的国内晶圆厂在设备、原材料等领域面临着越来越大的供应短缺风险,迫使相关企业开始扶持本土供应商,大规模的国产替代正式开始。

到目前为止,国内半导体设备企业在各个细分领域都取得了不小的成绩。

在薄膜沉积设备方面,北方华创和拓晶科技是两大龙头企业,其中北方华创实现了28nm/14nm技术的突破,覆盖了PVD、CVD、ALD等所有领域。

蚀刻设备部分,国内主要参与者有中威公司、北方华创公司、易唐公司等。其中,中威公司的蚀刻设备包括CCP和ICP。目前CCP已经突破7-5nm,正在5nm以下顺利推进。去年,公司共生产并交付了298台CCP蚀刻设备,产量同比增长40%。

在光刻方面,上海微电子领先,已经在90nm、110nm、280nm等工艺全面实现国产化。今年2月,上海微电子交付首台2.5DD高级封装光刻机。按照之前的计划,28nm光刻机也将在年内交付。

国内CMP设备领域的参与者主要是华海清科和北京硕科精密微电子,其中华海清科是国内唯一实现12英寸CMP设备量产的企业。公司12英寸系列CMP设备产品已批量应用,制造工艺开始向14nm推进,现已进入验证阶段。

根据“中国制造2025”规划,到2025年,70%的国产半导体核心基础元器件和关键基础材料要实现自主保障。相比去年不足30%的国产化率,未来空还是很大的。只要国内企业能够实现技术突破,订单完全有保障。

但相对于存量市场的更替,芯片景气周期带来的增量市场更值得关注。

【繁荣依旧,增量可期】

2020年以来,作为下游需求的智能手机、数据中心、人工智能、新能源汽车等。大大增加了,全世界都出现了“缺芯潮”。到现在,不但没有缓解,反而愈演愈烈。所有的指标都可以印证这一点。

比如库存水平,2019年半导体产品的库存中位数约为40天,而2021年只剩下不到5天。

另一个例子是交付周期。到今年2月,16位处理器通用产品的平均交付周期增加了44周,比去年10月增加了15周。

现在,短期内没有解决芯片短缺的办法。《2022年全球半导体行业调查》中的数据显示,近60%的芯片公司高管认为,芯片短缺问题要到2023年才能解决。

在高景气周期下,晶圆厂纷纷扩大生产锁定利润,资本支出持续上升。

2021年,全球代工龙头TSMC的资本支出高达300亿美元,SMIC也增至45亿美元。

2022年,晶圆厂将继续加大投入。TSMC的资本支出将增加到400-440亿美元,而SMIC将增加到50亿美元。

IC Insights给出的预测是,2022年,全球半导体行业资本支出将超过1904亿美元,同比增长24%。

根据业内此前的统计,晶圆厂70%-80%的资本支出用于购买设备。也就是说,2022年半导体设备企业订单量仍将增长空。

总的来说,国产半导体设备在成熟过程中已经打破垄断,在存量置换和增量扩张的共振下,很可能会进入高速商业化和放量阶段。

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