分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。
尽量避免频繁启停
分子泵在匀速工作时，转子叶片仅受到离心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不计），即远离轴心的方向的拉力；而在加速和减速的时候，叶片还受到转动切线方向的力，相当于对叶片进行弯折的力。显而易见，对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。
另外，分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30 分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损。
根据工艺条件选择适当的冷却
分子泵的冷却方式有三种：自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在没有气体负载的情况下，可以采用自然冷却；较大的分子泵或者有一定的气体负载时，需要选择强制风冷（风扇冷却）；对于有些负载很大的应用（比如CVD），或者不方便使用风扇的环境（如辐射环境），需要采取水冷。
无论采取哪种冷却方式，分子泵工作的环境温度都要保持在 5~35 摄氏度之间，采取水冷时，要采用经过处理的软水，冷却水的温度和流量也要满足说明书的要求。
空挡滑行不可取
分子泵工作时转速很高（数万转/分钟），加减速过程中，不可避免地要经过某些危险的共振频率，长时间在这些共振频率运转，会增加轴承负荷、进而增加分子泵故障的风险。在真空下自然停泵（空挡滑行）时，由于真空下空气阻力很小，分子泵转子要经过几十分钟甚至数小时的时间才能完全停止，其中在共振频率运转的时间也会比较长。
一般建议分子泵停机时，手动或者通过专用充气阀（Vent Valve），通过充气口充入空气/氮气，增加转子阻力使其快速停机；手动充气时，要注意控制充气速度，使停机时间和分子泵启动时间相当（根据泵的大小不同而不同，一般为 3~10 分钟）。
大多数型号的安捷伦分子泵还带有电磁刹车功能（Active Stop），可以在不破空的情况下快速停机。
注意监测前级真空
分子泵是一种高真空泵，它必须配合合适的并且性能良好的前级泵才可以正常工作；除了在选型时尽量选择推荐的前级泵之外，分子泵使用时也要注意监测其排气口的压力，避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高，造成负荷过大，泵温过高等。
这些情况一定要加轴承吹扫
分子泵所抽的气体如果含有较多的可凝性气体（如水汽，有机溶剂等），高浓度的氧气、腐蚀性气体，或者粉尘等，需要增配吹扫阀（Purge Valve），工作过程中利用吹扫气（一般为干燥氮气）持续对轴承进行吹扫，以达到隔离污染物，保护轴承的目的。
长期存放不用不是延年益寿的秘诀
有用户会认为，长时间停泵不用对分子泵的损耗会比较小。但是，分子泵长时间停泵后，在表面张力和重力的作用下，轴承内部的润滑脂可能会出现收缩成团、分布不均匀等现象，反而会影响分子泵的寿命。
为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心，让分子泵在专用的检测平台上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合轴承。
有下面这些异常一定要尽早检修
分子泵是高速旋转的机械，轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废；而当轴承工作状态不良时，会有一系列的现象，如分子泵无法启动，运行噪音增大，温度或功率异常增加等，在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后，应尽快停泵，送到维修中心进行检修。
安捷伦分子泵标准保养服务
安捷伦维修中心提供各型号安捷伦分子泵的标准保养服务，主要项目包括：对整泵进行拆解和清洗、更换密封和轴承套件、动平衡调试和泄漏检测等。
安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命
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AUTO 500镀膜机的使用操作方法和步骤说明
镀膜机操作的步骤
一、电控柜的使用
1 开水泵、气源
2 开总电源
3 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步使用。约需5分钟。
4 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
5 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
二、DEF-6B电子枪电源柜的使用
1 总电源
2 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
3 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流12A，偏转电流在1~17之间摆动。
三、关机顺序
1 关高真空表头、关分子泵。
2 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。
3 到50以下时，再关维持泵。
待分子泵停止后。通电,按照原样安装好故障即可排除,若分子泵叶轮不转,卸下分子泵即可看到旋转叶轮位置状态卸下分子泵,叶轮立即旋转,通电试验,记住叶轮位置。此故障原因殊谱仪放置不够水平。松开分子泵与真空室连接的4 个紧固螺丝,分子泵转子不平衡停止后启动困难,转动叶轮使叶轮停在相对的位置。停电,用手轻轻转动一下。
