这就属于半导体微加工工艺了：
首先你要准备 1掩模板（100um宽，100um长的正方形图案，可以使用非零片的便宜）
2 光刻胶正胶就可以了推荐（AZ系列的）
3刻蚀液 玻璃的刻蚀配方（HF+NH4F+H2O)配比（100ml :250g:400ml)
不不知道你在什么地方 有很多地方可以使用仪器（共享的）按小时交钱；花点钱租用几个小时光刻机 ，和刻蚀机（带有刻蚀深度控制的）自己就可以完成 也可以完全承包给大学教授或者研究所做大概要花不少钱！几千块吧。
（1）什么是等离子：等离子体是一种高能量不稳定的状态。利用这种高能量而又不稳定的状态，等离子体有各种各样的应用。
（2）等离子体有什么用途：等离子体的应用非常非常广泛，从核聚变到等离子电视，从等离子薄膜溅射到工业废气处理，从等离子切割焊接到生物医疗领域的消毒。我们目前所说的，是集中在等离子表面改性，或者说等离子表面处理的应用。
（3）等离子清洗的原理是什么:对材料表面的刻蚀作用--物理作用
等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
(4)等离子清洗知名品牌有哪些？
德国的普思玛、德国的联盟、德国的德纳、美国的哈里克、韩国的APP、韩国的PSM、
中国的有晟鼎、,广东达因特，中国的魁鼎、中国的保丰堂。
（5）如何选择合适的等离子清洗机？
清洗需求分析
根据样品特点，是形状复杂，还是平整的表面？
还有样品能承受的温度不能超过多少？
生产流程和效率要求，是否需要配套生产流水线？
